选择题:下列有关曝光的描述正确的是:

  • 题目分类:慕课
  • 题目类型:选择题
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题目内容:

下列有关曝光的描述正确的是

A.确定图案的精确形状和尺寸;

B.步进曝光机一次就可以完成曝光;

C.使受光照射区域的光刻胶膜发生化学反应形成潜影;

D.需要进行准确对版后再曝光,才能保证各次光刻的套准精度。

参考答案:

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