题目内容：
VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的
A.自掺杂效应
B.互扩散效应
C.衬底表面没清洗干净的缘故。
D.掺杂气体不纯
参考答案：【答案仅供学习，请勿对照自行用药等】
选择题：VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：
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- 题目类型：选择题
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